压阻式薄膜（电阻式薄膜压力传感器怎么用）

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1、根据等厚干涉条纹半径公式知道，条纹半径和厚度的1/2次方成反比，所以厚度加大，条纹半径减小。根据等厚干涉条纹间距公式知道，条纹间距也和厚度的1/2次方成反比，所以厚度加大，条纹间隔也减小。

2、薄膜厚度影响光程差。厚度变小，光程差变小，条纹有条纹变稀；厚度变大，光程差变大，条纹有条纹变密。

3、等倾干涉属于光的干涉中的薄膜干涉，产生亮条纹的条件是，薄膜厚度是光在薄膜中半波长的整数倍，相邻亮条纹间的的距离随着角度的增大，间距减小，条纹变密集。

压阻式压力传感器又称为固态压力传感器，它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力，而是直接通过硅膜片感受被测压力的。图1 中硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔，另一面是与大气连通的低压腔。

压阻式传感器是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。电阻应变式传感器是以电阻应变计为转换元件的电阻式传感器。

压阻式传感器是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路工艺技术制成的传感器。集成传感器是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。压阻式压力传感器又称扩散硅压力传感器，是压力式传感器的一种。

压阻式传感器是压力式传感器的一种。压阻式压力传感器又称扩散硅压力传感器。

压阻式传感器piezoresistance type transducer是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。

压阻式压力传感器电阻应变片是压阻式应变传感器的主要组成部分之一。金属电阻应变片的工作原理，吸附在基体材料上应变电阻随机械形变而产生阻值变化的现象，俗称为电阻应变效应。

一种常见的测量薄膜厚度的方法是使用激光白光干涉仪。该仪器采用干涉的原理，通过分析激光在薄膜表面反射和穿透的光线，在纳米级精度下测定薄膜厚度。该方法无需接触样品，测量速度快，且对不同类型的薄膜都适用。

薄膜材料的厚度可以利用波浪边塌边测量仪，大成精密的薄膜材料波浪边塌边测量仪是采用测量位移差的方式，测量薄膜在一定张力下的表面平整度，并根据设定规则自动识别坏品。

科学平均法：数好20张或50张甚至100张，然后用尺子测厚度，然后除以纸张数就是平均厚度；科学仪器法：使用更高精度的测量仪器：游标卡尺、千分尺等等。

1、原理压电传感器：基于压电效应的传感器。是一种自发电式和机电转换式传感器。它的敏感元件由压电材料制成。压电材料受力后表面产生电荷。

2、光传感器利用的是半导体的光导效应或光生伏特效应。光生伏特效应是通过光照射，将半导体PN结处产生的电压或电流作为输出加以检测。如光敏二级管，光敏三级管等。这些效应都是利用了光的量子性质。最常见的应用实例，就是光控灯。

3、热电阻温度传感器是利用导体或者半导体的电阻值随其温度变化而变化的原理进行测温的一种传感器。对于不同导体(半导体)来说，温度每变化一度，电阻值变化是不同的，而电阻值又可以直接作为输出信号。

4、按传感器的物理量分类，可分为位移、力、速度、温度、流量、气体成份等传感器按传感器工作原理分类，可分为电阻、电容、电感、电压、霍尔、光电、光栅、热电偶等传感器。

5、传感器的基本原理1 传感器有哪些类型按用途压力敏和力敏传感器、位置传感器、液位传感器、能耗传感器、速度传感器、加速度传感器、射线辐射传感器、热敏传感器。

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